Сучасні методи досліджень реальної структури матеріалів мікро-наносистемної техніки

Спеціальність: Мікро- та наносистемна техніка (освітньо-наукова програма)
Код дисципліни: 7.153.00.O.002
Кількість кредитів: 6.00
Кафедра: Напівпровідникова електроніка
Семестр: 1 семестр
Форма навчання: денна