МЕМС та НЕМС у пристроях мікро- та наносистемної техніки

Спеціальність: Мікро- та наносистемна техніка (освітньо-наукова програма)
Код дисципліни: 7.153.01.E.019
Кількість кредитів: 7.00
Кафедра: Напівпровідникова електроніка
Семестр: 2 семестр
Форма навчання: денна