Тонкоплівкові технології

Спеціальність: Мікро- та наносистемна техніка
Код дисципліни: 6.153.02.E.088
Кількість кредитів: 6.00
Кафедра: Напівпровідникова електроніка
Семестр: 5 семестр
Форма навчання: денна