Технологія зінтегрованих схем

Спеціальність: Мікро- та наносистемна техніка
Код дисципліни: 6.153.03.M.72
Кількість кредитів: 6.00
Кафедра: Напівпровідникова електроніка
Лектор: д.т.н., проф. Ховерко Ю.М.
Семестр: 7 семестр
Форма навчання: денна
Результати навчання: В результаті вивчення цього змістового модуля студент повинен: – знати основні типи структур зінтегрованих мікросхем та технологічні процеси їх виготовлення, фізичні засади технологічних процесів та технічні особливості і можливості їх реалізації. – вміти використовувати на практиці набуті знання щодо технології виготовлення зінтегрованих мікросхем, аналізувати фізико-хімічні процеси, які протікають при виготовленні зінтегрованих мікросхем, вибрати матеріал для виготовлення і обґрунтувати фізичну структуру зінтегрованої мікросхеми, удосконалювати технологічні процеси виготовлення зінтегрованих мікросхем та видозмінювати їх залежно від вимог до готової мікросхеми
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни: пререквізит: Фізика, Технологічні основи мікро-та наносистемної техніки , Твердотільна електроніка. кореквізити: Мікросхемотехніка
Короткий зміст навчальної програми: Загальні принципи та підходи до проблем технології виготовлення зінтегрованих мікросхем. Технологія створення біполярного транзистора і біполярних ЗіС. Технологія створення ЗіС на польових транзисторах. Напівпровідникові матеріали для зінтегрованих мікросхем. Технологія виготовлення та обробки підкладок для зінтегрованих мікросхем. Термічне окислення кремнію. Літографія в технології виготовлення зінтегрованих мікросхем. Дифузія в технології виготовлення зінтегрованих мікросхем. Іонна імплантація в технології виготовлення зінтегрованих мікросхем. Процеси епітаксії в технології виготовлення зінтегрованих мікросхем. Осадження полікристалічного кремнію. Металізація в технології виробництва зінтегрованих мікросхем. Виготовлення міжелементних з’єднань та контактів. Методи зборки та герметизації зінтегрованих мікросхем
Методи та критерії оцінювання: Поточний контроль (30 %); підсумковий контроль (70 %)
Рекомендована література: Ховерко Ю.М. Технологія ЗІС: електронний навчально-методичний комплекс.– реєстраційний номер № Е41-124-39/2016.– адреса розміщення: https://vns.lpnu.ua/course/view.php?id=1116 Ховерко Ю.М., Островський І.П., Дружинін А.О.Технологія елементів зінтегрованих схем мікро та наносистемної техніки. Навч. посібник. - Львів: Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2018. - 172 с С.П. Новосядлий Суб- і наномікронна технологія структур ВІС. Монографія.–МОНУ.–2010 И. Броудай, Дж. Мерей, Физические основы микротехнологии, М: Мир, 1985.