Технологічні основи мікро- та наносистемної техніки

Спеціальність: Мікро- та наносистеми Інтернету речей
Код дисципліни: 6.153.03.O.024
Кількість кредитів: 4.00
Кафедра: Напівпровідникова електроніка
Лектор: д.т.н., проф.Ховерко Ю.М.
Семестр: 4 семестр
Форма навчання: денна
Мета вивчення дисципліни: є вивчення студентами технологічних основ виробництва матеріалів напівпровідникової електроніки, основних технологічних процесів розділення та очищення матеріалів, та їх технологічних процесiв синтезу.
Завдання: Вивчення навчальної дисципліни передбачає формування та розвиток у студентів компетентностей: Загальних: • базові знання фундаментальних наук, в обсязі, необхідному для освоєння загально-професійних дисциплін; • базові знання в галузі мікро- та наносистемної техніки, необхідні для освоєння професійно-орієнтованих дисциплін;; • уміння розв’язувати поставлені задачі та приймати відповідні рішення • здатність до аналізу та синтезу; • здатність до застосування знань на практиці; • здатність здійснювати пошук та аналізувати інформацію з різних джерел; • мати дослідницькі навички; • . уміння працювати як індивідуально, так і в команді; Фахових: • базові знання основних нормативно-правових актів та довідкових матеріалів, чинних стандартів і технічних умов, інструкцій та інших нормативно-розпорядчих документів в галузі "Автоматизація та приладобудування"; • здатність використовувати знання й уміння для дослідження, вибору, впровадження, ремонту, та проектування приладів та пристроїв мікро- та наносистемної техніки та їх складових; • вміння розробляти методи оцінки якості матеріалів мікро- та наносистемної техніки, методи випробувань приладів та пристроїв, систем метрологічної повірки; • уміння аргументувати вибір методів розв’язування спеціалізованих задач, критично оцінювати отримані результати та захищати прийняті рішення
Результати навчання: Освоєння: теоретичні основи методів і технологічних схем вирощування напівпровідникових матеріалів; основні технологічні процеси і методи розрахунку основних технологiчних параметрів ; методи розрахунку параметрiв технологiчного процесу; методи розрахунку параметрiв монокристалічних кристалів ; технологiчного маршруту очищення та розділення напівпровідникових матеріалів; аналiзу фiзико-хiмiчних процесів, що вiдбуваються при виробництвi основних напівпровідникових матеріалів; вибору напівпровідникових матерiалів, та обгрунтування технологiчного маршруту виготовлення певного напівпровідникового матеріала с заданними властивостями; розрахунку режимів технологiчних процесiв виробництва полі та монокристалів.
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни: Попередні навчальні дисципліни Фізика Моделювання електронних компонентів та приладів Супутні та наступні навчальні дисципліни Основи мікро- та нанотехнологій Наноструктури Управління структурою і властивостями напівпровідникових матеріалів і приладів, частина 2
Короткий зміст навчальної програми: Навчальна дисципліна «Технологічні основи мікро- та наносистемної техніки» розроблена для студентів Інституту телекомунікаці, радіоелектроніки та електронної техніки, які навчаються за спеціальністю 176 «Мікро- та наносистемна техніка Інтернету речей» в галузі «Електроніка». Курс складається з 30 лекційних годин 15 годин практичних робіт, та 30 годин лабораторних робіт у ІV семестрі. Лекційний курс охоплює сім розділів, в яких викладені фізичні основи та технологічні методи вирощування і очищення напівпровідникових матеріалів, що є основою для подальшого виробництва зінтегрованих схем в об’ємі, чи на поверхні кристалічних підкладок. Розглядаються основні напрямки розвитку сучасних перспективних нанотехнологій отримання модельних об’єктів монокристалів
Опис: Загальна характеристика чистоти речовини Основи процесів розділення та очищення матеріалів. Технологія отримання полікристалічних напівпровідникових матеріалів. Основні процеси гетерогенних хіміко-технологічних систем Фізико-хімічні основи процесів затвердіння. Технологія отримання монокристалів напівпровідникових та діелектричних матеріалів.
Методи та критерії оцінювання: Залік, контрольна робота, усний захист письмової компоненти
Критерії оцінювання результатів навчання: Поточний контроль (30%), заліковий контроль (70%)
Порядок та критерії виставляння балів та оцінок: 100–88 балів – («відмінно») виставляється за високий рівень знань (допускаються деякі неточності) навчального матеріалу компонента, що міститься в основних і додаткових рекомендованих літературних джерелах, вміння аналізувати явища, які вивчаються, у їхньому взаємозв’язку і роз витку, чітко, лаконічно, логічно, послідовно відповідати на поставлені запитання, вміння застосовувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 87–71 бал – («добре») виставляється за загалом правильне розуміння навчального матеріалу компонента, включаючи розрахунки , аргументовані відповіді на поставлені запитання, які, однак, містять певні (неістотні) недоліки, за вміння застосовувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 70 – 50 балів – («задовільно») виставляється за слабкі знання навчального матеріалу компонента, неточні або мало аргументовані відповіді, з порушенням послідовності викладення, за слабке застосування теоретичних положень під час розв’язання практичних задач; 49–26 балів – («не атестований» з можливістю повторного складання семестрового контролю) виставляється за незнання значної частини навчального матеріалу компонента, істотні помилки у відповідях на запитання, невміння застосувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 25–00 балів – («незадовільно» з обов’язковим повторним вивченням) виставляється за незнання значної частини навчального матеріалу компонента, істотні помилки у відповідях на запитання, невміння орієнтуватися під час розв’язання практичних задач, незнання основних фундаментальних положень.
Рекомендована література: Курило І.В., Губа С.К. Основи технології напівпровідникових матеріалів. Навчальний посібник// Львів: Видавництво Національного університету «Львівська політехніка».– 2012.– 240 с Ховерко Ю.М. Технологічні основи мікро-та наносистемної техніки електронний навчально-методичний комплекс для студентів спеціальності 176 «Мікро- та наносистемна техніка».– https://vns.lpnu.ua/course/view.php?id=4265.
Уніфікований додаток: Національний університет «Львівська політехніка» забезпечує реалізацію права осіб з інвалідністю на здобуття вищої освіти. Інклюзивні освітні послуги надає Служба доступності до можливостей навчання «Без обмежень», метою діяльності якої є забезпечення постійного індивідуального супроводу навчального процесу студентів з інвалідністю та хронічними захворюваннями. Важливим інструментом імплементації інклюзивної освітньої політики в Університеті є Програма підвищення кваліфікації науково-педагогічних працівників та навчально-допоміжного персоналу у сфері соціальної інклюзії та інклюзивної освіти. Звертатися за адресою: вул. Карпінського, 2/4, І-й н.к., кімн. 112 E-mail: nolimits@lpnu.ua Websites: https://lpnu.ua/nolimits https://lpnu.ua/integration
Академічна доброчесність: Політика щодо академічної доброчесності учасників освітнього процесу формується на основі дотримання принципів академічної доброчесності з урахуванням норм «Положення про академічну доброчесність у Національному університеті «Львівська політехніка» (затверджене вченою радою університету від 20.06.2017 р., протокол № 35).