Технологія зінтегрованих схем

Спеціальність: Мікро- та наносистеми Інтернету речей
Код дисципліни: 6.153.03.M.041
Кількість кредитів: 6.00
Кафедра: Напівпровідникова електроніка
Лектор: д.т.н., проф. Ховерко Юрій Миколайович
Семестр: 7 семестр
Форма навчання: денна
Мета вивчення дисципліни: Мета дисципліни полягає у: вивченні загальних принципів та підходів до проблем технології виготовлення сучасних зінтегрованих мікросхем; вивченні та засвоєнні основних сучасних технологічних методів та прийомів, які використовуються у технологічному процесі виготовлення великих зінтегрованих мікросхем; отримання науково-практичних навичок у питаннях формування основних параметрів зінтегрованих мікросхем та методології їх контролю
Завдання: Вивчення навчальної дисципліни передбачає формування та розвиток у студентів компетентностей: Загальних: • базові знання фундаментальних наук, в обсязі, необхідному для освоєння загально-професійних дисциплін; • базові знання в галузі мікро- та наносистемної техніки, необхідні для освоєння професійно-орієнтованих дисциплін;; • уміння розв’язувати поставлені задачі та приймати відповідні рішення • здатність до аналізу та синтезу; • здатність до застосування знань на практиці; • здатність здійснювати пошук та аналізувати інформацію з різних джерел; • мати дослідницькі навички; • уміння працювати як індивідуально, так і в команді; Фахових: • здатність використовувати знання й уміння для дослідження, вибору, впровадження, ремонту, та проектування приладів та пристроїв мікро- та наносистемної техніки та їх складових; • вміння розробляти методи оцінки якості матеріалів мікро- та наносистемної техніки, методи випробувань приладів та пристроїв, систем метрологічної повірки; • уміння аргументувати вибір методів розв’язування спеціалізованих задач, критично оцінювати отримані результати та захищати прийняті рішення.
Результати навчання: В результаті вивчення цього змістового модуля студент повинен: – знати основні типи структур зінтегрованих мікросхем та технологічні процеси їх виготовлення, фізичні засади технологічних процесів та технічні особливості і можливості їх реалізації. – вміти використовувати на практиці набуті знання щодо технології виготовлення зінтегрованих мікросхем, аналізувати фізико-хімічні процеси, які протікають при виготовленні зінтегрованих мікросхем, вибрати матеріал для виготовлення і обґрунтувати фізичну структуру зінтегрованої мікросхеми, удосконалювати технологічні процеси виготовлення зінтегрованих мікросхем та видозмінювати їх залежно від вимог до готової мікросхеми
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни: пререквізит: Фізика, Технологічні основи електроніки, Твердотільна електроніка. кореквізити: Mікросхемотехніка
Короткий зміст навчальної програми: В рамках вивчення дисципліни буде висвітлено: основні типи структур зінтегрованих мікросхем, основні технологічні процеси їх виготовлення, методи розрахунку параметрів технологічних процесів та структур, які отримують за допомогою процесів дифузії, імплантації, окислення та основні методи контролю у процесі виробництва зінтегрованих мікросхем
Опис: Загальні принципи та підходи до проблем технології виготовлення зінтегрованих мікросхем. Технологія створення біполярного транзистора і біполярних ЗіС. Технологія створення ЗіС на польових транзисторах. Напівпровідникові матеріали для зінтегрованих мікросхем. Технологія виготовлення та обробки підкладок для зінтегрованих мікросхем. Термічне окислення кремнію. Літографія в технології виготовлення зінтегрованих мікросхем. Дифузія в технології виготовлення зінтегрованих мікросхем. Іонна імплантація в технології виготовлення зінтегрованих мікросхем. Процеси епітаксії в технології виготовлення зінтегрованих мікросхем. Осадження полікристалічного кремнію. Металізація в технології виробництва зінтегрованих мікросхем. Виготовлення міжелементних з’єднань та контактів. Методи зборки та герметизації зінтегрованих мікросхем
Методи та критерії оцінювання: Залік, контрольна робота, усний захист письмової компоненти
Критерії оцінювання результатів навчання: Поточний контроль (30 %); підсумковий контроль (70 %)
Порядок та критерії виставляння балів та оцінок: 100–88 балів – («відмінно») виставляється за високий рівень знань (допускаються деякі неточності) навчального матеріалу компонента, що міститься в основних і додаткових рекомендованих літературних джерелах, вміння аналізувати явища, які вивчаються, у їхньому взаємозв’язку і роз витку, чітко, лаконічно, логічно, послідовно відповідати на поставлені запитання, вміння застосовувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 87–71 бал – («добре») виставляється за загалом правильне розуміння навчального матеріалу компонента, включаючи розрахунки , аргументовані відповіді на поставлені запитання, які, однак, містять певні (неістотні) недоліки, за вміння застосовувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 70 – 50 балів – («задовільно») виставляється за слабкі знання навчального матеріалу компонента, неточні або мало аргументовані відповіді, з порушенням послідовності викладення, за слабке застосування теоретичних положень під час розв’язання практичних задач; 49–26 балів – («не атестований» з можливістю повторного складання семестрового контролю) виставляється за незнання значної частини навчального матеріалу компонента, істотні помилки у відповідях на запитання, невміння застосувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 25–00 балів – («незадовільно» з обов’язковим повторним вивченням) виставляється за незнання значної частини навчального матеріалу компонента, істотні помилки у відповідях на запитання, невміння орієнтуватися під час розв’язання практичних задач, незнання основних фундаментальних положень.
Рекомендована література: Ховерко Ю.М., Островський І.П., Дружинін А.О.Технологія елементів зінтегрованих схем мікро та наносистемної техніки. Навч. посібник. - Львів: Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2018. - 172 с С.П. Новосядлий Суб- і наномікронна технологія структур ВІС. Монографія.–МОНУ.–2010 И. Броудай, Дж. Мерей, Физические основы микротехнологии, М: Мир, 1985. Ховерко Ю.М. Технологія ЗІС: електронний навчально-методичний комплекс.– реєстраційний номер № Е41-124-39/2016.– адреса розміщення: http://vns.lpnu.ua/ course/index.php?categoryid=1062.
Уніфікований додаток: Національний університет «Львівська політехніка» забезпечує реалізацію права осіб з інвалідністю на здобуття вищої освіти. Інклюзивні освітні послуги надає Служба доступності до можливостей навчання «Без обмежень», метою діяльності якої є забезпечення постійного індивідуального супроводу навчального процесу студентів з інвалідністю та хронічними захворюваннями. Важливим інструментом імплементації інклюзивної освітньої політики в Університеті є Програма підвищення кваліфікації науково-педагогічних працівників та навчально-допоміжного персоналу у сфері соціальної інклюзії та інклюзивної освіти. Звертатися за адресою: вул. Карпінського, 2/4, І-й н.к., кімн. 112 E-mail: nolimits@lpnu.ua Websites: https://lpnu.ua/nolimits https://lpnu.ua/integration
Академічна доброчесність: Політика щодо академічної доброчесності учасників освітнього процесу формується на основі дотримання принципів академічної доброчесності з урахуванням норм «Положення про академічну доброчесність у Національному університеті «Львівська політехніка» (затверджене вченою радою університету від 20.06.2017 р., протокол № 35).