МЕМС та НЕМС у пристроях мікро- та наносистемної техніки
Спеціальність: Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої
Код дисципліни: 7.153.02.E.22
Кількість кредитів: 8.00
Кафедра: Напівпровідникова електроніка
Семестр: 2 семестр
Форма навчання: денна
