Physical and Chemical Processes in Microelectronic Technology

Major: Electronics
Code of subject: 7.171.03.E.025
Credits: 4.00
Department: Department of Electronic Engineering
Lecturer: Ph.D., Assoc. Kuchmiy Halyna Lyubomyrivna
Semester: 2 семестр
Mode of study: денна
Learning outcomes: GLO 1.3 Apply knowledge of technical characteristics, physical and technological features of creation and improvement of electronic devices. GLO 1.4 Perform calculations of predicted parameters and characteristics of electronic equipment according to the given algorithms.
Required prior and related subjects: Prerequisites: Physics. Physical foundations of electronic equipment. Materials and structures of nanoelectronics. Co-requisites: Microcircuitry.
Summary of the subject: Development of modern microelectronic technology, its application in the production of electronic devices and devices. Basic materials for microelectronic devices. Mechanical processing of crystals of semiconductor materials. Diffusion in semiconductors. Ionic doping. Lithographic processes in the technology of microelectronic devices. Microporous structures. Physico-chemical processes, in the technology of multi-level switching elements, multi-level switching in hybrid and single-crystal VIS. Physico-chemical processes in the technology of devices on alternative materials - silicon carbide, organic materials, etc. Methods of control of technological processes, materials and structures of microelectronic equipment.
Assessment methods and criteria: Current control: performance of practical work, performance of control work. Final control: final control work.
Recommended books: Basic literature: 1. Фізичні основи електроніки: курс лекцій: навч. посіб. для студ. спеціальності 171 «Електроніка» / КПІ ім. Ігоря Сікорського; уклад.: К.С. Дрозденко, – Електронні текстові данні. – Київ: КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2021. – 153 с. 2. Теплові процеси в електроніці / Ю.Я. Бобало, В. Вуйцік, З.Ю. Готра, Т. Голець, В. Каліта, В.І. Лозбін, І.С. Романюк; за ред. З.Ю. Готри. – Львів: Ліга-Прес, 2007. – 320 с. (монографія). 3. Мікроелектронні сенсори фізичних величин: Науково-навчальне видання. В 3 томах. Том 3. Книга 1 /Вуйцік В., Готра З.Ю., Готра О.З., Григор’єв В.В., Каліта В., Мельник О.М., Потенцкі Є., Черпак В.В.; За редакцією З.Ю. Готри. – Львів: Ліга-Прес, 2007. – 249 с. Supporting literature: 1. Основи електроніки : навч. посіб. / А. С. Васюра, Г. Д. Дорощенков, В. П. Кожем’яко, Г. Л. Лисенко. – Вінниця : ВНТУ, 2018. – 197 с. 2. Мікроелектронні сенсори вологості: наково-навчальне видання / Вуйцік В., Гельжинський І.І., Голяка Р.Л., Готра З.Ю., Гурський В., Прошак В., Прошак Д.; за ред. З.Ю. Готри. – Львів: Ліга-Прес, 2007. – 420 с. 3. Мікроелектронні сенсори фізичних величин: Науково-навчальне видання. В 3 томах. Том 3. Книга 2 /Вуйцік В., Готра З.Ю., Готра О.З., Григор’єв В.В., Каліта В., Мельник О.М., Потенцкі Є., Черпак В.В.; За редакцією З.Ю. Готри. – Львів: Ліга-Прес, 2007. – 367 с.