Субмікронна та нанотехнологія
Спеціальність: Електроніка
Код дисципліни: 8.171.00.M.30
Кількість кредитів: 3.00
Кафедра: Електронна інженерія
Лектор: Д.т.н., проф. Готра Зенон Юрійович
Семестр: 4 семестр
Форма навчання: денна
Результати навчання: 1. Знати основи використання нано та субмікронних технологій при створенні електронних пристроїв та систем.
2. Знати технологічні основи створення елементів та структур наноелектроніки.
3. Знати основні концептуальні підходи до створення моделей процесів та досліджень нано та субмікронних об’єктів.
4. Знати принцип роботи елементів електронних систем їхні характеристики та параметри.
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни: Пререквізити: Функціональна електроніка
Кореквізити: Математичне моделювання та прогнозування експерименту
Короткий зміст навчальної програми: • Методи формування нанорозмірних структур
Базові технології формування нанорозмірних структур. Вакуумні методи формування плівок. Молекулярний конструктор Ленгмюра-Блоджетт. Зондові нанотехнології.
• Епітаксійна технологія
Загальна характеристика методів епітаксії. Основи теорії епітаксійного росту. Молекулярно-променева епітаксія. Епітаксія плівок GaAs. Газофазна епітаксія з металоорганічних сполук. Контроль процесу епітаксії. Технологія надґратчастих структур.
• Іонна імплантація в субмікронній технологіїелектронної техніки
Фізичні основи іонної імплантації. Основи технології іонної імплантації . Утворення радіаційних дефектів та їх вплив на поверхневу структуру пластин. Технологія іонного легування.
• Субмікронна літографія
Електронно-променева літографія . Рентгенівська літографія. Іонно-променева і голографічна літографія. Плазмова обробка в технології електронної техніки.
Методи та критерії оцінювання: Поточний контроль: контрольні та практичні роботи, виконання індивідуальних науково-дослідних завдань (40%).
Підсумковий контроль: екзамен (60%).
Рекомендована література: 1. Mykytiuk T.V. Rapid reversible phototuning of lasing frequency in dye-doped cholesteric liquid crystal / T.V. Mykytiuk, I.P. Ilchishin, R.M. Kravchuk, Y.Li and Q.Li // Optics Letters. – 2014, – Vol.39, №22 – P. 6490 – 6493.
2. T Kato, J Uchida, T Ichikawa “ Functional liquid crystals towards the next generation of materials”, Angewandte Chemie, 2018.
3. D Andrienko “ Introduction to liquid crystals”, Journal of Molecular Liquids, 2018.
4. PJ Collings, JW Goodby “Introduction to liquid crystals: chemistry and physics”, 2019.