Контроль геометрії поверхні та внутрішніх дефектів оптичних деталей методом фазозсувної інтерферометрії
Автор: Семотюк Назар Ярославович
Кваліфікаційний рівень: магістр
Спеціальність: Лазерна і оптоелектронна техніка
Інститут: Інститут телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки
Форма навчання: денна
Навчальний рік: 2020-2021 н.р.
Мова захисту: українська
Анотація: МКР: 79 c., 34 рисунок, 25 таблиць, 45 джерел літератури. Об’єкт дослідження – геометрія поверхні та внутрішні дефекти оптичних деталей. Мета роботи – розроблення та експериментальна апробація оптичної схеми установки для контролю геометрії робочих поверхонь і залишкових напружень оптичних деталей. Метод дослідження – фазозсувна інтерферометрія, геометрична оптика. Запропоновано оптичну схему експериментальної установки для контролю геометрії поверхні та внутрішніх дефектів оптичних деталей за використання методу фазозсувної інтерферометрії, розраховано параметри та підібрано оптичні елементи. Проведено експериментальну апробацію запропонованої установки. Ключові слова: ГЕОМЕТРІЯ ПОВЕРХНІ, ОПТИЧНІ ДЕТАЛІ , ФАЗОЗСУВНА ІНТЕРФЕРОМЕТРІЯ, ДОВІЛЬНИЙ ФАЗОВИЙ ЗСУВ.