Розробка та дослідження суміщених датчиків тиску та температури

Автор: Чегіль Юрій Іванович
Кваліфікаційний рівень: магістр
Спеціальність: Системне проектування
Інститут: Інститут комп'ютерних наук та інформаційних технологій
Форма навчання: денна
Навчальний рік: 2023-2024 н.р.
Мова захисту: українська
Анотація: У зв’язку з розширенням сфер застосування ДФВ виникла необхідність створення низки суміщених давачів тиску і температури, стійких до впливу екстремальних зовнішніх факторів, зокрема температури, агресивного середовища, вібрацій та прискорень. Такі зовнішні фактори характерні для глибоких нафтових свердловин, авіації, ракет-носіїв та ін. Тому при розробці необхідно враховувати вплив зовнішніх факторів на чутливі структури ДДТ, які проявляються у зниженні надійності, міцності, збільшенні похибки за рахунок генерації механічних та теплових деформацій у вузлах та елементах давачів, які дуже важко виміряти та врахувати. У зв’язку зі складністю, трудомісткістю та дорожнечею процесів розробки та виготовлення ДФВ, особливу роль у процесі їх проектування набувають методи математичного моделювання, застосування яких дозволяють суттєво скоротити терміни та витрати на розробку давачів. У ході проведеного дослідження виявлено, що існують розрізнені дорогі програми та методики, що дозволяють моделювати теплові та деформаційні поля у давачах. На жаль, ці ліцензійні програми, засновані на звичайно різницевих методах, дуже дорого коштують, крім того, вони трудомісткі в освоєнні. Тому традиційний інженерний підхід до розрахунку елементів давачів, доповнений практичними результатами, дозволяє ефективно моделювати ДДТ. У зв’язку з цим дисертаційна робота присвячена розробці мікроелектронних суміщених давачів тиску та температури, розрахованих на експлуатацію в екстремальних умовах. Загальний об’єм: 74 сторінки, з яких 34 рисунки, 1 таблиця. Ключові слова: давач тиску, температури, МЕМС, САПР.