Лазерні технології
Спеціальність: Телекомунікації та радіотехніка
Код дисципліни: 8.172.00.M.27
Кількість кредитів: 3.00
Кафедра: Електронна інженерія
Лектор: проф. Бобицький Ярослав Васильович
Семестр: 4 семестр
Форма навчання: денна
Результати навчання: В результаті вивчення навчальної дисципліни студенти повинні:
- знати:
1) механізми взаємодії лазерного випромінювання з речовиною;
2) властивості напівпровідників в зоні дії лазерного випромінювання;
3) властивості конструкційних матеріалів в зоні лазерної розробки;
4) місце лазерної технології в типових технологічних процесах мікроелектроніки як альтернативні методи;
5) основні технологічні операції індустрійної та мікрообробки матеріалів із застосуванням лазерів;
6) технічні засоби і можливості лазерної технології на лабораторному і промисловому рівні;
7) тенденції розвитку лазерної індустрійної та мікротехнології.
- вміти:
1) пояснити ефекти взаємодії лазерного випромінювання з конструкційними матеріалами та матеріалами електронної технології;
2) розрахувати і реалізувати режими лазерної цільової обробки;
3) забезпечити метрологічний контроль технологічних процесів і наслідків обробки;
4) конструювати спеціалізоване обладнання та розробляти технологічні процеси.
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни: - пререквізити: взаємодія електромагнітного випромінювання з матеріалами;
- кореквізити: квантова електроніка та лазерна техніка.
Короткий зміст навчальної програми: Вступ до лазерних технологій.
Лазерна термічна технологія і теплофізичні задачі лазерної індустрійної технології.
Лазерні термохімічні процеси окислення, вплив плазми оптичного розряду на ефективність енерговкладу в матеріал.
Системи формування пучка, оптика технологічних лазерів, контроль параметрів лазерного випромінювання.
Лазерне гартування. Лазерне легування і наплавка.
Лазерна різка металів і сплавів. Лазерна зварка металів і сплавів.
Лазерна зварка неметалічних матеріалів.
Розмірна обробка, лазерне прототипування.
Лазерне маркування і гравіювання.
Методи дослідження властивостей матеріалу після лазерної обробки.
Роздільна здатність лазерних методів обробки.
Методи та критерії оцінювання: - Поточний контроль (30%): звіти з практичних занять;
- Підсумковий контроль (70%): залік.
Рекомендована література: 1. Бобицький Я.В., Матвіїшин Г.Л. Лазерні технології. Частина 1: навчальний посібник. - Львів: Видавництво Львівської політехніки, 2015. – 320 с.
2. Муравський Л.І., Вороняк Т.І., Кметь А.Б. Лазерна інтерферометрія поверхні для потреб технічної діагностики: монографія. – Львів: Сполом, 2014. – 272 c.
3. Готра З.Ю., Бобицький Я.В. Лазерні методи обробки в мікроелектроніці. - Львів: Світ, 1991. - 168 с.
4. Гиваргизов Е.И. Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементов базы микроэлектроники. - М.: Наука, 1988. - 180 с.
5. Алферов Ж.И. и др. Интерференционный лазерный отжиг полупроводников // Физика и техника полупроводников. - 1983. - т.17. - с. 235-241.