Технологічні основи мікро- та наносистемної техніки
Спеціальність: Мікро- та наносистемна техніка
Код дисципліни: 6.153.03.O.25
Кількість кредитів: 4.00
Кафедра: Напівпровідникова електроніка
Лектор: к.т.н., доц. Губа С.К.
Семестр: 4 семестр
Форма навчання: денна
Результати навчання: є набуття вмінь та навичок, що охоплюють:
- теоретичні основи методів і технологічних схем вирощування напівпровідникових матеріалів;
- основні технологічні процеси і методи розрахунку основних технологiчних параметрів ;
- методи розрахунку параметрiв технологiчного процесу;
- методи розрахунку параметрiв монокристалічних кристалів ;
- набути навичок в проектуваннi елементної бази мікросхем.
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни: Пререквізити:
Фізика
Моделювання електронних компонентів та приладів
Кореквізити:
Основи мікро- та нанотехнологій
Наноструктури
Управління структурою і властивостями напівпровідникових матеріалів і приладів, ч. 2
Короткий зміст навчальної програми: Навчальна дисципліна «Технологічні основи мікро- та наносистемної техніки» розроблена для студентів Інституту телекомунікаці, радіоелектроніки та електронної техніки, які навчаються за спеціальністю 176 «Мікро- та наносистемна техніка Інтернету речей» в галузі «Електроніка». Курс складається з 30 лекційних годин 15 годин практичних робіт, та 30 годин лабораторних робіт у ІV семестрі. Лекційний курс охоплює сім розділів, в яких викладені фізичні основи та технологічні методи вирощування і очищення напівпровідникових матеріалів, що є основою для подальшого виробництва зінтегрованих схем в об’ємі, чи на поверхні кристалічних підкладок. Розглядаються основні напрямки розвитку сучасних перспективних нанотехнологій отримання модельних об’єктів монокристалів
Методи та критерії оцінювання: Поточний контроль (30 %) заліковий контроль (70 %)
Рекомендована література: Курило І.В., Губа С.К. Основи технології напівпровідникових матеріалів. Навчальний посібник// Львів: Видавництво Національного університету «Львівська політехніка».– 2012.– 240 с.
Ховерко Ю.М. Технологічні основи мікро-та наносистемної техніки електронний навчально-методичний комплекс для студентів спеціальності 176 «Мікро- та наносистемна техніка».– https://vns.lpnu.ua/course/view.php?id=4265