Мікро- та наноелектромеханічні системи

Спеціальність: Мікро- та наносистемна техніка
Код дисципліни: 8.153.00.M.027
Кількість кредитів: 3.00
Кафедра: Напівпровідникова електроніка
Семестр: 4 семестр
Форма навчання: денна