Фізико-хімічні процеси в мікроелектронній технології
Спеціальність: Електроніка
Код дисципліни: 7.171.03.E.025
Кількість кредитів: 4.00
Кафедра: Електронна інженерія
Лектор: К.т.н., доц. Кучмій Галина Любомирівна
Семестр: 2 семестр
Форма навчання: денна
Результати навчання: РН1.3 Застосовувати знання технічних характеристик, фізичних та технологічних особливостей створення та вдосконалення приладів електроніки.
РН1.4 Провадити за заданими алгоритмами розрахунки прогнозованих параметрів та характеристик приладів електронної техніки.
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни: Пререквізити:
Фізика.
Фізичні основи електронної техніки.
Матеріали та структури наноелектроніки.
Кореквізити: Мікросхемотехніка.
Короткий зміст навчальної програми: Розвиток сучасної мікроелектронної технології, її застосування у виробництві електронних приладах та пристроях.
Основні матеріали для мікроелектронних пристроїв.
Механічна обробка кристалів напівпровідникових матеріалів.
Дифузія в напівпровідниках.
Іонне легування.
Літографічні процеси в технології мікроелектронних пристроїв.
Мікропористі структури.
Фізико-хімічні процеси, в технології багаторівневих елементів комутації, багаторівнева комутація в гібридних та однокристальних ВІС.
Фізико-хімічні процеси в технології приладів на альтернативних матеріалах-- карбіді кремнію, органічних матеріалах та ін.
Методи контролю технологічних процесів, матеріалів та структур мікроелектронної техніки.
Методи та критерії оцінювання: Поточний контроль: виконання практичних робіт, виконання контрольної роботи.
Підсумковий контроль: залікова контрольна робота.
Рекомендована література: Базова література:
1. Фізичні основи електроніки: курс лекцій: навч. посіб. для студ. спеціальності 171 «Електроніка» / КПІ ім. Ігоря Сікорського; уклад.: К.С. Дрозденко, – Електронні текстові данні. – Київ: КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2021. – 153 с.
2. Теплові процеси в електроніці / Ю.Я. Бобало, В. Вуйцік, З.Ю. Готра, Т. Голець, В. Каліта, В.І. Лозбін, І.С. Романюк; за ред. З.Ю. Готри. – Львів: Ліга-Прес, 2007. – 320 с. (монографія).
3. Мікроелектронні сенсори фізичних величин: Науково-навчальне видання. В 3 томах. Том 3. Книга 1 /Вуйцік В., Готра З.Ю., Готра О.З., Григор’єв В.В., Каліта В., Мельник О.М., Потенцкі Є., Черпак В.В.; За редакцією З.Ю. Готри. – Львів: Ліга-Прес, 2007. – 249 с.
Допоміжна література:
1. Основи електроніки : навч. посіб. / А. С. Васюра, Г. Д. Дорощенков, В. П. Кожем’яко, Г. Л. Лисенко. – Вінниця : ВНТУ, 2018. – 197 с.
2. Мікроелектронні сенсори вологості: наково-навчальне видання / Вуйцік В., Гельжинський І.І., Голяка Р.Л., Готра З.Ю., Гурський В., Прошак В., Прошак Д.; за ред. З.Ю. Готри. – Львів: Ліга-Прес, 2007. – 420 с.
3. Мікроелектронні сенсори фізичних величин: Науково-навчальне видання. В 3 томах. Том 3. Книга 2 /Вуйцік В., Готра З.Ю., Готра О.З., Григор’єв В.В., Каліта В., Мельник О.М., Потенцкі Є., Черпак В.В.; За редакцією З.Ю. Готри. – Львів: Ліга-Прес, 2007. – 367 с.