Технологічні основи мікро- та наносистемної техніки

Спеціальність: Мікро- та наносистеми Інтернету речей
Код дисципліни: 6.176.03.O.023
Кількість кредитів: 4.00
Кафедра: Напівпровідникова електроніка
Лектор: д.т.н., проф.Ховерко Ю.М
Семестр: 4 семестр
Форма навчання: денна
Мета вивчення дисципліни: є вивчення студентами технологічних основ виробництва матеріалів напівпровідникової електроніки, основних технологічних процесів розділення та очищення матеріалів, та їх технологічних процесiв синтезу.
Завдання: Вивчення навчальної дисципліни передбачає формування та розвиток у студентів компетентностей: Загальних: • базові знання фундаментальних наук, в обсязі, необхідному для освоєння загально-професійних дисциплін; • базові знання в галузі мікро- та наносистемної техніки, необхідні для освоєння професійно-орієнтованих дисциплін;; • уміння розв’язувати поставлені задачі та приймати відповідні рішення • здатність до аналізу та синтезу; • здатність до застосування знань на практиці; • здатність здійснювати пошук та аналізувати інформацію з різних джерел; • мати дослідницькі навички; • . уміння працювати як індивідуально, так і в команді; Фахових: • базові знання основних нормативно-правових актів та довідкових матеріалів, чинних стандартів і технічних умов, інструкцій та інших нормативно-розпорядчих документів в галузі "Автоматизація та приладобудування"; • здатність використовувати знання й уміння для дослідження, вибору, впровадження, ремонту, та проектування приладів та пристроїв мікро- та наносистемної техніки та їх складових; • вміння розробляти методи оцінки якості матеріалів мікро- та наносистемної техніки, методи випробувань приладів та пристроїв, систем метрологічної повірки; • уміння аргументувати вибір методів розв’язування спеціалізованих задач, критично оцінювати отримані результати та захищати прийняті рішення
Результати навчання: Освоєння: теоретичні основи методів і технологічних схем вирощування напівпровідникових матеріалів; основні технологічні процеси і методи розрахунку основних технологiчних параметрів ; методи розрахунку параметрiв технологiчного процесу; методи розрахунку параметрiв монокристалічних кристалів ; технологiчного маршруту очищення та розділення напівпровідникових матеріалів; аналiзу фiзико-хiмiчних процесів, що вiдбуваються при виробництвi основних напівпровідникових матеріалів; вибору напівпровідникових матерiалів, та обгрунтування технологiчного маршруту виготовлення певного напівпровідникового матеріала с заданними властивостями; розрахунку режимів технологiчних процесiв виробництва полі та монокристалів.
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни: Попередні навчальні дисципліни Фізика Моделювання електронних компонентів та приладів Супутні та наступні навчальні дисципліни Основи мікро- та нанотехнологій Наноструктури Управління структурою і властивостями напівпровідникових матеріалів і приладів, частина 2
Короткий зміст навчальної програми: Навчальна дисципліна «Технологічні основи мікро- та наносистемної техніки» розроблена для студентів Інституту телекомунікаці, радіоелектроніки та електронної техніки, які навчаються за спеціальністю 176 «Мікро- та наносистемна техніка Інтернету речей» в галузі «Електроніка». Курс складається з 30 лекційних годин 15 годин практичних робіт, та 30 годин лабораторних робіт у ІV семестрі. Лекційний курс охоплює сім розділів, в яких викладені фізичні основи та технологічні методи вирощування і очищення напівпровідникових матеріалів, що є основою для подальшого виробництва зінтегрованих схем в об’ємі, чи на поверхні кристалічних підкладок. Розглядаються основні напрямки розвитку сучасних перспективних нанотехнологій отримання модельних об’єктів монокристалів.
Опис: Загальна характеристика чистоти речовини Основи процесів розділення та очищення матеріалів. Технологія отримання полікристалічних напівпровідникових матеріалів. Основні процеси гетерогенних хіміко-технологічних систем Фізико-хімічні основи процесів затвердіння. Технологія отримання монокристалів напівпровідникових та діелектричних матеріалів.
Методи та критерії оцінювання: Залік, контрольна робота, усний захист письмової компоненти
Критерії оцінювання результатів навчання: Поточний контроль (30%), заліковий контроль (70%)
Порядок та критерії виставляння балів та оцінок: 100-88 балів - атестований з оцінкою «відмінно» - Високий рівень: здобувач освіти демонструє поглиблене володіння поняттєвим та категорійним апаратом навчальної дисципліни, системні знання, вміння і навички їх практичного застосування. Освоєні знання, вміння і навички забезпечують можливість самостійного формулювання цілей та організації навчальної діяльності, пошуку та знаходження рішень у нестандартних, нетипових навчальних і професійних ситуаціях. Здобувач освіти демонструє здатність робити узагальнення на основі критичного аналізу фактичного матеріалу, ідей, теорій і концепцій, формулювати на їх основі висновки. Його діяльності ґрунтується на зацікавленості та мотивації до саморозвитку, неперервного професійного розвитку, самостійної науково-дослідної діяльності, що реалізується за підтримки та під керівництвом викладача. 87-71 балів - атестований з оцінкою «добре» - Достатній рівень: передбачає володіння поняттєвим та категорійним апаратом навчальної дисципліни на підвищеному рівні, усвідомлене використання знань, умінь і навичок з метою розкриття суті питання. Володіння частково-структурованим комплексом знань забезпечує можливість їх застосування у знайомих ситуаціях освітнього та професійного характеру. Усвідомлюючи специфіку задач та навчальних ситуацій, здобувач освіти демонструє здатність здійснювати пошук та вибір їх розв’язання за поданим зразком, аргументувати застосування певного способу розв’язання задачі. Його діяльності ґрунтується на зацікавленості та мотивації до саморозвитку, неперервного професійного розвитку. 70-50 балів - атестований з оцінкою «задовільно» - Задовільний рівень: окреслює володіння поняттєвим та категорійним апаратом навчальної дисципліни на середньому рівні, часткове усвідомлення навчальних і професійних задач, завдань і ситуацій, знання про способи розв’язання типових задач і завдань. Здобувач освіти демонструє середній рівень умінь і навичок застосування знань на практиці, а розв’язання задач потребує допомоги, опори на зразок. В основу навчальної діяльності покладено ситуативність та евристичність, домінування мотивів обов’язку, неусвідомлене застосування можливостей для саморозвитку. 49-00 балів - атестований з оцінкою «незадовільно» - Незадовільний рівень: свідчить про елементарне володіння поняттєвим та категорійним апаратом навчальної дисципліни, загальне уявлення про зміст навчального матеріалу, часткове використання знань, умінь і навичок. В основу навчальної діяльності покладено ситуативно-прагматичний інтерес.
Рекомендована література: Курило І.В., Губа С.К. Основи технології напівпровідникових матеріалів. Навчальний посібник// Львів: Видавництво Національного університету «Львівська політехніка».– 2012.– 240 с Ховерко Ю.М. Технологічні основи мікро-та наносистемної техніки електронний навчально-методичний комплекс для студентів спеціальності 176 «Мікро- та наносистемна техніка».– https://vns.lpnu.ua/course/view.php?id=4265.
Уніфікований додаток: Національний університет «Львівська політехніка» забезпечує реалізацію права осіб з інвалідністю на здобуття вищої освіти. Інклюзивні освітні послуги надає Служба доступності до можливостей навчання «Без обмежень», метою діяльності якої є забезпечення постійного індивідуального супроводу навчального процесу студентів з інвалідністю та хронічними захворюваннями. Важливим інструментом імплементації інклюзивної освітньої політики в Університеті є Програма підвищення кваліфікації науково-педагогічних працівників та навчально-допоміжного персоналу у сфері соціальної інклюзії та інклюзивної освіти. Звертатися за адресою: вул. Карпінського, 2/4, І-й н.к., кімн. 112 E-mail: nolimits@lpnu.ua Websites: https://lpnu.ua/nolimits https://lpnu.ua/integration
Академічна доброчесність: Політика щодо академічної доброчесності учасників освітнього процесу формується на основі дотримання принципів академічної доброчесності з урахуванням норм «Положення про академічну доброчесність у Національному університеті «Львівська політехніка» (затверджене вченою радою університету від 20.06.2017 р., протокол № 35).