Методи дослідження матеріалів та мікроструктур в електронній техніці
Спеціальність: Електроніка
Код дисципліни: 7.171.03.O.002
Кількість кредитів: 5.00
Кафедра: Електронна інженерія
Лектор: К.т.н., доц. Кучмій Галина Любомирівна
Семестр: 1 семестр
Форма навчання: денна
Завдання: загальні компетентності:
ЗК1. Здатність до абстрактного мислення, аналізу та синтезу.
ЗК4. Здатність до проведення досліджень на відповідному рівні.
ЗК5. Здатність до пошуку, оброблення та аналізу інформації з різних джерел.
Фахові компетентності:
ФК5. Здатність забезпечувати ефективність та якість вимірювань в електронних компонентах, пристроях та системах.
ФК7. Здатність до розв’язання задач обробки та відображення інформації в сучасних електронних пристроях і системах.
Результати навчання: РН7. Здійснювати інформаційний та науковий пошук з використанням наукової, технічної та довідкової літератури, баз даних і знань, інших джерел інформації,; критично осмислювати та інтерпретувати наявні знання та дані, формувати напрями досліджень і розробок з урахуванням вітчизняного й закордонного досвіду.
РН8. Здійснювати та координувати розробку, підбір, використання та модернізацію необхідного обладнання, інструментів і методів при організації виробничого процесу з урахуванням технічних та технологічних можливостей, сучасних наукоємних методів, засобів та технічних рішень.
КОМ1. Уміння спілкуватись, включаючи усну та письмову комунікацію українською та іноземною мовами (англійською, німецькою, італійською, французькою, іспанською);
КОМ2. Здатність використання різноманітних методів, зокрема сучасних інформаційних технологій, для ефективно спілкування на професійному та соціальному рівнях.
АіВ1. Здатність адаптуватись до нових ситуацій та приймати відповідні рішення;
АіВ3. Здатність відповідально ставитись до виконуваної роботи, самостійно приймати рішення, досягати поставленої мети з дотриманням вимог професійної етики.
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни: Пререквізити:
Фізика.
Фізичні основи електронної техніки.
Матеріали та структури наноелектроніки.
Кореквізити:
Мікросхемотехніка.
Фізико-хімічні процеси в мікроелектронній технології.
Короткий зміст навчальної програми: Програма навчальної дисципліни "Методи дослідження матеріалів та мікроструктур в електронній техніці" укладена для студентів інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки, які навчаються за спеціальністю Електроніка.
Навчальна дисципліна присвячена вивченню методів дослідження тонких плівок напівпровідників та структур на їх основі. Проаналізовані фізичні принципи взаємодії різного типу випромінювання на структури електронної техніки та розглянуті основні сучасні методики досліджень матеріалів та структур, а також можливості та межі їх застосування.
Опис: Методи дослідження тонких плівок напівпровідників та структур на їх основі.
Фотоелектронна спектроскопія.
Рентгенівська фотоелектронна спектроскопії. Застосування рентгенівської фотоелектронної спектроскопії для однієї молекули при шести різних умовах.
Інверсна фотоелектронна спектроскопія. Оже-спектроскопія.
Методика дослідження катодолюмінісценції.
Іонна спектроскопія. Лазерна спектроскопія.
Скануюча зондова мікроскопія. Скануюча тунельна мікроскопія. Атомно-силова мікроскопія.
Магнітно-силова мікроскопія. Електростатична силова та ємнісна мікроскопія. Термічна спектроскопія.
Оптична інфрачервона (раманівська) спектроскопії.
Фотолюмінесценцентні дослідження.
Методика дослідження товщини тонких органічних плівок.
Методи дослідження електрофізичних властивостей органічних плівок та структур на їх основі. Метод Холла. Метод Зеебека.
Імпедансна спектроскопія.
Методи та критерії оцінювання: Поточний контроль: виконані та захищені лабораторні роботи, виконання індивідуальних домашніх завдань.
Підсумковий контроль: екзамен.
Критерії оцінювання результатів навчання: Поточний контроль (30%): виконання лабораторних робіт (20%), виконання індивідуального завдання (10%).
Підсумковий контроль (70%): письмова компонента (50%), усна компонента (20%).
Порядок та критерії виставляння балів та оцінок: 100–88 балів – («відмінно») виставляється за високий рівень знань (допускаються деякі неточності) навчального матеріалу компонента, що міститься в основних і додаткових рекомендованих літературних джерелах, вміння аналізувати явища, які вивчаються, у їхньому взаємозв’язку і роз витку, чітко, лаконічно, логічно, послідовно відповідати на поставлені запитання, вміння застосовувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 87–71 бал – («добре») виставляється за загалом правильне розуміння навчального матеріалу компонента, включаючи розрахунки , аргументовані відповіді на поставлені запитання, які, однак, містять певні (неістотні) недоліки, за вміння застосовувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 70 – 50 балів – («задовільно») виставляється за слабкі знання навчального матеріалу компонента, неточні або мало аргументовані відповіді, з порушенням послідовності викладення, за слабке застосування теоретичних положень під час розв’язання практичних задач; 49–26 балів – («не атестований» з можливістю повторного складання семестрового контролю) виставляється за незнання значної частини навчального матеріалу компонента, істотні помилки у відповідях на запитання, невміння застосувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 25–00 балів – («незадовільно» з обов’язковим повторним вивченням) виставляється за незнання значної частини навчального матеріалу компонента, істотні помилки у відповідях на запитання, невміння орієнтуватися під час розв’язання практичних задач, незнання основних фундаментальних положень.
Рекомендована література: Базова література:
1. Тонкоплівкова електроніка / укл.: М.М. Солован, А.І. Мостовий, Чернівці: Чернівецький нац. ун-т, 2021. 128 с.
2. Інструментальні методи досліджень в технології кераміки та скла: навчальний посібник /КПІ ім.. Сікорського; укл.: Л.М. Снасонова, А.П. Яценко – Електронні тестові дані, 2018. – 85 с.
3. О.М. Юрченко, Ж.О. Кормош, О.В. Парасюк. Онови матеріознавства/ Конспект лекцій. – Луцьк. -2018. – 44 с.
4. Крилик, Л. В. Матеріали електронної техніки: навчальний посібник / Л. В. Крилик, О. О. Селецька. – Вінниця : ВНТУ, 2017. – 120 с.
Допоміжна література:
1. Barylo,H.,Ivakh, M., Prystay, T., Kuchmiy, H., Kachurak, Y. Optical Sensor Based on Data Fusion Concept (2021) International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design, 2021-May, pp. 130-133.
2. Mykytyuk Z., Vistak*** M., Barylo H., Kremer I., Ivakh M., Diskovskyi*** I. Optical sensor based on liquid crystals for detecting the amino acids concentration in aqueous solutions // Molecular Crystals and Liquid Crystals. – 2021. – Vol. 717, iss.– P. 142–148.
3. Mykytyuk Z. M., Kremer I. P., Ivakh M. S., Diskovskyi*** I. S., Khomyak*** S. V. Optical sensor with liquid crystal sensitive element for monitoring acetone vapor during exhalation [Електронний ресурс] // Molecular Crystals and Liquid Crystals. – 2021.
4. Бойко*** О. В., Готра З. Ю., Фечан*** А. В. Органічні оптичні сенсори фізичних величин // Вісник Національного університету ”Львівська політехніка”. Серія “Радіоелектроніка та телекомунікації”. – 2020. – № 915. – С. 56–65.
5. Кучмій Г. Л., Івах М. С., Адам'як* О. А., Барило* Н. Г. Використання цифрового конвертера TCS3400 в оптичних сенсорах // Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи, РТПСАС 2020 : матеріали міжнародної науково-технічної конференції (Київ, 16–22 листопада 2020 р.). – 2020. – C. 169–171.
Уніфікований додаток: Національний університет «Львівська політехніка» забезпечує реалізацію права осіб з інвалідністю на здобуття вищої освіти. Інклюзивні освітні послуги надає Служба доступності до можливостей навчання «Без обмежень», метою діяльності якої є забезпечення постійного індивідуального супроводу навчального процесу студентів з інвалідністю та хронічними захворюваннями. Важливим інструментом імплементації інклюзивної освітньої політики в Університеті є Програма підвищення кваліфікації науково-педагогічних працівників та навчально-допоміжного персоналу у сфері соціальної інклюзії та інклюзивної освіти. Звертатися за адресою:
вул. Карпінського, 2/4, І-й н.к., кімн. 112
E-mail: nolimits@lpnu.ua
Websites: https://lpnu.ua/nolimits https://lpnu.ua/integration
Академічна доброчесність: Політика щодо академічної доброчесності учасників освітнього процесу формується на основі дотримання принципів академічної доброчесності з урахуванням норм «Положення про академічну доброчесність у Національному університеті «Львівська політехніка» (затверджене вченою радою університету від 20.06.2017 р., протокол № 35).