Фізико-хімічні процеси в мікроелектронній технології

Спеціальність: Електроніка
Код дисципліни: 7.171.03.E.019
Кількість кредитів: 4.00
Кафедра: Електронна інженерія
Лектор: К.т.н., доц. Кучмій Галина Любомирівна
Семестр: 2 семестр
Форма навчання: денна
Мета вивчення дисципліни: Мета вивчення навчальної дисципліни полягає у розширенні та узагальненні студентами магістерської підготовки знань про базові та спеціальні процеси в мікроелектронній технології, усвідомленні завдань, що стоять перед технологами мікроелектронних виробництв, ознайомленні з особливостями застосування сучасних мікроелектронних технологій в електронних приладах та пристроях у провідних галузях комп'ютерної техніки, інформатики, телекомунікація, медицини та біології, техніці екологічного моніторингу.
Завдання: Фахові компетентності професійного спрямування: ФКС 1.2 Здатність до вирішення задач оптимізації та оновлення електронних засобів автоматизації, збору, оброблення, передавання, збереження та відображення інформації. ФКС 1.4 Здатність до розроблення технологій створення матеріалів з наперед заданими властивостями та направленої модифікації їхніх властивостей. ФКС 2.1 Здатність обґрунтовано вибирати і використовувати існуючі методи обробки та аналізу сигналів в біомедичних системах. ФКС 2.3 Створювати та використовувати сучасні пакети прикладних програм інформаційної підтримки діагностичних та лікувальних процесів.
Результати навчання: РН1.3 Застосовувати знання технічних характеристик, фізичних та технологічних особливостей створення та вдосконалення приладів електроніки. РН1.4 Провадити за заданими алгоритмами розрахунки прогнозованих параметрів та характеристик приладів електронної техніки.
Необхідні обов'язкові попередні та супутні навчальні дисципліни: Пререквізити: Фізика. Фізичні основи електронної техніки. Матеріали та структури наноелектроніки. Кореквізити: Мікросхемотехніка.
Короткий зміст навчальної програми: Програма навчальної дисципліни "Фізико-хімічні процеси в мікроелектронній технології" укладена для студентів інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки, які навчаються за спеціальністю Електроніка. Навчальна дисципліна присвячена вивченню методів отримання, очищення та легування монокристалічних, полікрпсталічних та аморфних матеріалів, а також методам контролю технологічних процесів, матеріалів та структур мікроелектронної техніки.
Опис: Розвиток сучасної мікроелектронної технології, її застосування у виробництві електронних приладах та пристроях. Основні матеріали для мікроелектронних пристроїв. Механічна обробка кристалів напівпровідникових матеріалів. Дифузія в напівпровідниках. Іонне легування. Літографічні процеси в технології мікроелектронних пристроїв. Мікропористі структури. Фізико-хімічні процеси, в технології багаторівневих елементів комутації, багаторівнева комутація в гібридних та однокристальних ВІС. Фізико-хімічні процеси в технології приладів на альтернативних матеріалах-- карбіді кремнію, органічних матеріалах та ін. Методи контролю технологічних процесів, матеріалів та структур мікроелектронної техніки.
Методи та критерії оцінювання: Поточний контроль: виконання практичних робіт, виконання контрольної роботи. Підсумковий контроль: залікова контрольна робота.
Критерії оцінювання результатів навчання: Розподіл балів у 100-бальній шкалі. Поточний контроль: Аудиторна робота- 70 балів: (виконання практичних робіт – 20 балів; залікова контрольна робота – 50 балів). Самостійна робота – 30 балів.
Порядок та критерії виставляння балів та оцінок: 100–88 балів – («відмінно») виставляється за високий рівень знань (допускаються деякі неточності) навчального матеріалу компонента, що міститься в основних і додаткових рекомендованих літературних джерелах, вміння аналізувати явища, які вивчаються, у їхньому взаємозв’язку і роз витку, чітко, лаконічно, логічно, послідовно відповідати на поставлені запитання, вміння застосовувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 87–71 бал – («добре») виставляється за загалом правильне розуміння навчального матеріалу компонента, включаючи розрахунки , аргументовані відповіді на поставлені запитання, які, однак, містять певні (неістотні) недоліки, за вміння застосовувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 70 – 50 балів – («задовільно») виставляється за слабкі знання навчального матеріалу компонента, неточні або мало аргументовані відповіді, з порушенням послідовності викладення, за слабке застосування теоретичних положень під час розв’язання практичних задач; 49–26 балів – («не атестований» з можливістю повторного складання семестрового контролю) виставляється за незнання значної частини навчального матеріалу компонента, істотні помилки у відповідях на запитання, невміння застосувати теоретичні положення під час розв’язання практичних задач; 25–00 балів – («незадовільно» з обов’язковим повторним вивченням) виставляється за незнання значної частини навчального матеріалу компонента, істотні помилки у відповідях на запитання, невміння орієнтуватися під час розв’язання практичних задач, незнання основних фундаментальних положень.
Рекомендована література: Базова література: 1. Фізичні основи електроніки: курс лекцій: навч. посіб. для студ. спеціальності 171 «Електроніка» / КПІ ім. Ігоря Сікорського; уклад.: К.С. Дрозденко, – Електронні текстові данні. – Київ: КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2021. – 153 с. 2. Теплові процеси в електроніці / Ю.Я. Бобало, В. Вуйцік, З.Ю. Готра, Т. Голець, В. Каліта, В.І. Лозбін, І.С. Романюк; за ред. З.Ю. Готри. – Львів: Ліга-Прес, 2007. – 320 с. (монографія). 3. Мікроелектронні сенсори фізичних величин: Науково-навчальне видання. В 3 томах. Том 3. Книга 1 /Вуйцік В., Готра З.Ю., Готра О.З., Григор’єв В.В., Каліта В., Мельник О.М., Потенцкі Є., Черпак В.В.; За редакцією З.Ю. Готри. – Львів: Ліга-Прес, 2007. – 249 с. Допоміжна література: 1. Основи електроніки : навч. посіб. / А. С. Васюра, Г. Д. Дорощенков, В. П. Кожем’яко, Г. Л. Лисенко. – Вінниця : ВНТУ, 2018. – 197 с.
Уніфікований додаток: Національний університет «Львівська політехніка» забезпечує реалізацію права осіб з інвалідністю на здобуття вищої освіти. Інклюзивні освітні послуги надає Служба доступності до можливостей навчання «Без обмежень», метою діяльності якої є забезпечення постійного індивідуального супроводу навчального процесу студентів з інвалідністю та хронічними захворюваннями. Важливим інструментом імплементації інклюзивної освітньої політики в Університеті є Програма підвищення кваліфікації науково-педагогічних працівників та навчально-допоміжного персоналу у сфері соціальної інклюзії та інклюзивної освіти. Звертатися за адресою: вул. Карпінського, 2/4, І-й н.к., кімн. 112 E-mail: nolimits@lpnu.ua Websites: https://lpnu.ua/nolimits https://lpnu.ua/integration
Академічна доброчесність: Політика щодо академічної доброчесності учасників освітнього процесу формується на основі дотримання принципів академічної доброчесності з урахуванням норм «Положення про академічну доброчесність у Національному університеті «Львівська політехніка» (затверджене вченою радою університету від 20.06.2017 р., протокол № 35).